Температура и влажность лабораторного строительного пространства определяются главным образом в соответствии с требованиями процесса, но при соблюдении требований к процессу следует учитывать уровень комфорта человека. С улучшением требований к чистоте воздуха все более строгий спрос на температуру и влажность в процессе. Специфические требования к процессу для температуры будут перечислены позже, но в качестве общего принципа из-за все более тонкой точности обработки требования к диапазону колебаний температуры становятся все меньше и меньше.
Например, в процессе литографической экспозиции крупномасштабного производства интегральных схем разница в коэффициенте теплового расширения между стеклом и кремниевой пластиной в качестве материала маски должна быть меньше и меньше. Кремниевая пластина диаметром 100 мкм, повышение температуры на 1 градус, вызвало линейное расширение 0,24 мкм, оно должно иметь постоянную температуру ± 0,1 градуса, а требуемое значение влажности, как правило, ниже, потому что люди потеют, продукт будет в частности, боится семинар по производству полупроводников натрия, температура этой мастерской не должна превышать 25 градусов, проблема избыточной влажности создает больше проблем. Когда относительная влажность превышает 55%, на стенке трубы охлаждающей воды образуется конденсат. Если это происходит в прецизионном устройстве или цепи, это может привести к различным авариям.
Регулирование давления
Для большинства чистых помещений необходимо поддерживать внутреннее давление (статическое давление) выше, чем внешнее давление (статическое давление), чтобы предотвратить вторжение внешнего загрязнения. Сохранение разности давлений обычно должно отвечать следующим принципам:
1. Давление чистого пространства выше давления нечистого пространства.
2. Давление высокого уровня чистоты выше, чем давление соседнего низкого уровня чистоты.
Сохранение разности давлений зависит от количества свежего воздуха, который может компенсировать количество воздуха, вытекающего из зазора при этой разнице давлений. Таким образом, физический смысл разности давлений - сопротивление утечке (или проникновению), когда объем воздуха проходит через различные промежутки в чистой комнате.
Регулирование скорости воздуха в чистом помещении
Рассчитанная здесь скорость воздушного потока относится к скорости воздушного потока в чистом помещении. Скорость потока воздуха в других чистых помещениях обсуждается при обсуждении конкретного оборудования.
Для турбулентной чистой комнаты Поскольку основное внимание уделяется разбавлению воздуха для уменьшения степени загрязнения внутри помещений, концепция количества изменений воздуха в основном используется вместо прямого использования концепции скорости, но есть также следующие требования к скорости воздуха в помещении;
(1) Скорость воздуха на выходе из воздуховыпускного отверстия не должна быть слишком большой. По сравнению с простой комнатой с кондиционером она требует более быстрого затухания скорости и большего угла распространения.
(2) Скорость воздушного потока (например, скорость рециркуляции во время боковой подачи), которая раздувается по горизонтальной плоскости, не должна быть слишком большой, чтобы не взорвать поверхностные частицы для возврата к воздушному потоку и вызывают повторное загрязнение. Эта скорость обычно не рекомендуется достигать 0,2 м / с.
Для очищенной комнаты с параллельным потоком, обычно называемой ламинарной чистой комнатой, скорость поперечного сечения является очень важным индикатором из-за того, что поршень в основном используется для воздушного потока, чтобы исключить крашение. Раньше делались ссылки на стандарт США 20 гБ и 0,45. Миз. Но люди также узнали, что количество вентиляции, необходимое для такой большой скорости, очень велико. Чтобы сэкономить энергию, они также ищут возможность снижения скорости ветра.
В Китае как меры Air Cleantech, так и код дизайна чистой комнаты
Вертикальный параллельный поток (ламинарный поток) в чистом помещении ≥0.25 м / с
Горизонтальный параллельный поток (ламинарный поток) в чистом помещении ≥ 0,35 м / с
Управление шумом
Стандарты шума для чистой лабораторной конструкции, как правило, строже, чем стандарты защиты здоровья. Цель состоит в том, чтобы гарантировать, что операции выполняются в обычном режиме, и что требуются разговорные контакты и безопасная и удобная рабочая среда. Поэтому основным показателем шума в чистой комнате является.
1. Эффект проблемы
Из-за шума люди чувствуют себя неловко и испытывают проблемы с эмоциями. Они, как правило, делятся на очень тихие, очень тихие, тихие, слегка шумные, относительно шумные и очень шумные. Там, где уровень реакции очень шумный и чрезвычайно шумный, это высокий уровень беспокойства, а процент большого количества проблем в общем числе - высокий уровень беспокойства.
2. Влияние на эффективность работы
Это в основном зависит от уровня реагирования в трех областях. Этими тремя аспектами являются: концентрация, точность действий и скорость работы;
3. Вмешательство в интегрированные коммуникации